仟净环保亮相深圳半导体展 国产超纯水技术筑基芯片智造

净心
2025-09-12

深圳,2025年9月12日22:52(现场直击) —— 在今日闭幕的深圳国际半导体展会上,东莞仟净环保设备有限公司以工程级半层体超纯水系统智能实验室水处理平台双核心解决方案,赢得行业高度关注。其针对晶圆外延、封装及碳化硅晶圆打磨等关键工艺的定制化能力,吸引大批头部企业驻场洽谈,彰显国产高端环保装备的技术话语权。


一、技术突破:破解先进制造水质困局

仟净创新性融合 “多级纯化-智能监控”双引擎架构

  1. 工程级半层体设备

    • 通过离子选择性膜堆叠技术实现污染物深度截留

    • 模块化快装设计大幅压缩设备部署周期,满足晶圆厂产线灵活调整需求

    • 国家半导体设备质量监督检验中心验证,核心部件寿命达行业领先水平


  2. 实验室水处理平台

    • 采用双回路动态平衡系统,同步保障碳化硅晶圆打磨与实验分析的高纯度需求

    • 搭载AI水质预测模块,实现关键参数异常秒级响应



二、国产化进程获产业链深度赋能

展会现场释放三大合作信号:
▶︎ 与微电子所共建晶圆级水质控制联合实验室
▶︎ 工程设备导入国内头部碳化硅晶圆厂量产线,客户反馈“显著提升工艺稳定性”
▶︎ 加入超纯水标准工作组,参与制定宽禁带半导体用水规范

“设备在8英寸碳化硅基晶圆产线连续稳定运行超10,000小时。”仟净技术总监在闭门交流会透露。


三、绿色智造锚定可持续发展

仟净同步展示的 “水-能协同优化系统” 引发热议:

  • 通过分级回收工艺降低纯水制备综合成本

  • 创新余热驱动净化技术减少能源依赖
    该系统已纳入 《广东省半导体产业绿色发展技术指南》 推荐方案,为芯片制造低碳转型提供新范式。


行业纵深观察
随着第三代半导体产能爬坡,碳化硅器件对水质敏感度呈指数级提升。仟净凭借 “工艺-设备-标准”三维创新体系 ,正逐步构建国产超纯水技术护城河。其展台现场陈列的客户感谢状与专利墙,无声诠释着中国环保装备从技术追赶到价值创造的蜕变之路。

深圳半导体展会2025-仟净.jpg


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